|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Дәріс тақырыбы. Лазерлік сәулемен экспонирлеу№ 7 Дәріс тақырыбы. Лазерлік сәулемен экспонирлеу 7.1-кестеде түпнұсқа дайындаудың және БП фотошаблондарын әртүрлі әдіспен жасаудың негізгі кезеңдері көрсетілген. Түпнұсқа және БП фотошаблондарын жасау
7.1 – сурет. Эталонды ФШ жасаудың негізгі кезеңдер 7.1-кесте Түпнұсқа мен ФШ жасаудағы негізгі кезеңдер
Бұдан кейін келесі операциялар орындалады: - БП суретінің сызбасын алу; - кодтау (графикалық ақпараттың сандыққа түрленуі); - графо немесе фотоқұрылысшымен басқару және де түпнұсқаны қағаз түрінде не фотопленка түрінде алу. Химико фотографиялық өндеу дұрыс емес жарықта ФШ топология элементтерінің көрінісін алу үшін жүргізеді. Диазоматериалдарды қолданып айқындау, арнайы құрылғыда аммиак буында орындалады. Ретуширлеу операциясы ФШ дефекттерін, нүкте сияқтылар, тырналған және т.с.с жоғалту үшін қажет. Ол микроскопта 10 есе үлкендікпен колонкалық бояғышпен сырды жағу арқылы орындалады. Эталонды ФШ жасау 100% бақылауға алынады. Жұмысшы ФШ жасаудың негізгі кезеңдері 7.2-суретте көрсетілген. Қатынас әдісімен экспонирлеу операциясы, көшірме-қатынас құрылғыларында жарықфильтрдің № 107 артындағы бұлынғыр жарықпен жасалынады.
7.2 – сурет. Жұмысшы ФШ алудың негізгі кезеңдері
Диазоматериалдарда баспаның қатынас әдісіне байланысты, көрініс контурының дәлдігін алу үшін және ФШ-мен (нақтымен) жақсы қатынас үшін УҚ-сәулелену көзі толқынының ұзындығы 350...450 нм ксенонды, галогенді немесе басқада шамдары бар көшірме-қатынас құрылғысы қолданылады. Диазоматериал және ФШ (нақтымен) екеуінің арасында тығыз қатынас болуы үшін, екеуін қорапша-ұстағыштың ішіне салады, содан кейін төбесін жауады және вакумды сорғышпен ауасын шығарады.
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|