Дәріс. Эталонды фотошаблон

№6 Дәріс. Эталонды фотошаблон

Жұмысшы ФШ-ның сапасы мыналарға байланысты:

· эталонды ФШ-ның сапасына байланысты: геометриялық өлшемдердің дәлдігі, орналасуы және топология элементтерінің бұрыштық қиындысы;

·қараңғы және жарық жердегі оптикалық тығыздықтары;

·баспа жүргізілетін заттың жазықтылығына және фотоматериал төсеніштің оптикалық мағынасына байланысты: шағылыс коэффициенті, жұтылу, сыну;

·қолданылған фотоматериалдың құрамына байланысты: жарықсезгіштікке, контраст коэффициентіне, рұқсат ету қабілеттілігіне байланысты.

В фотошаблонының оптикалық тығыздығы (қараю дәрежесі) денситометрлік бірлік шамасымен мына формула арқылы анықталады:

D=lg (6.1)

мұндағы L₀ және L – жарықтық ағындардың интенсивтілігі, яғни фотошаблон-

ның қараңғы немесе жарық жерге құлауы және олардан өтуі.

Контрасттылық – оптикалық тығыздық бірлігімен ФШ-ның қараңғылау және жарықтау жерінің қараю әртүрлілігі.

Көрініс анықтылығы миллиметрмен өлшенетінқараюдыңоптикалық тығыздығы D₁ ден D₂ дейін байланысты, (Н) орын ауыстыруымен анықталады (сурет 6.1).

Мысалы, 50...100 мкм мүмкіндігімен пленкалық фоторезистте көрініс алу үшін, жарық өтпейтін оптикалық тығыздығы 3,5 бірліктен көп оптикалық тығыздығымен ФШ болуға тиіс – 0,1 бірліктен аз оптикалық тығыздық; 2...3 мкм нашар емес көріністің бұрыштық қиындысы.

6.1 - сурет. Көрініс қиындысының оптикалық тығыздығына

байланысты орын ауыстыру жалпақтығы

ФШ-ға фотоматериал ретінде қолданылады:

· эмульсиялық қабаттпен фотографиялық пластиналар. Кемшіліктері – эмульсиялық қабаттың адгезиясының төмендігі; артықшылығы – эмульсиялық қабатының белгісіз қалындығының себебінен мүмкіндік қабілеті жоғарлайды;

· эмульсиялық қабаттпен фототехникалық пленкалар. Олар ыңғайлы, бірақ химико-фотографиялық өндегеннен, температураның өзгеруінен және қатысты ылғалдылықтан болған құбылыстардан сызықтық деформацияға ұшырайды; сонда да бұл кінәлар систематикалық құбылыс болады, ФШ және нақтыларды түсіргенде, дайындағанда ескерілуі мүмкін;

· диазоматериалдар (диазопластинкалар және диазопленкалар) – бұл ультракүлгін спектр бөліктеріне сезімтал диазоқабатпен пластинка және полиэфирлік (полиэтилентерефталатты) пленка. Қатысты ылғалдылықтын және температураның өзгеруіне байланысты диазопленка геометриялық өлшемдердің жоғары тұрақтылығын иемденеді, ал жарық сезгіш диазоқабат көріністін жоғары контрасттылығын қамтамасыздандырады. Дизопленка күн жарығына сезімтал емес, сондықтан онымен жұмыс істеу үшін қараңғы бөлмені керек етпейді. Айқындау ешқандай сусыз, аммиактың буынан өтеді, себебі сызықтық деформациялар болмайды және айқындағаннаң кейін нақтылар және фотошаблондар пайдалануға дайын;

· күміс емес жарықсезгіш материалдар.

Эмульсиялық ФШ — фототехникалық пленкада немесе фотографиялық пластинкада жасалынатын ФШ.

Диазотипті ФШ — 1) диазопленкада немесе диазопластинкада жасалынатын ФШ; 2) диазоқосынды негізінде жарықсезгіш қабат ретінде жасалған ФШ.

Жұмысшы ФШ-ға келесі техникалық талаптар қойылады:

· жұмысшы ФШ жасау үшін, БП да ФШ топологиялық элементтердің өлшемі және конструкторлық құжаттардың (КҚ) талабында олардың ара-қашықтықтары сәйкес болуы керек;

· ФШ-ның өлшемдерінің шектік ауытқуы БП дәлдік класына байланысты ол 6.1 кесте. сәйкес келуі керек.

6.1-кесте

ФШ топология элементтерінің шектік ауытқуы

БП дәлдік класы ФШ топология элементерінің шектік ауытқуы, мм

±0,10

±0,05

±0,03

±0,02

±0,01

ФШ топологиясының элементтерінің позициялық рұқсаттылығы арқылы орналасуы диаметральды түрде нақты БП классына сәйкес келу керек. (кес. 6.2);

6.2-кесте

ФШ топологиялық элементтерінің орналасу позициялық рұқсаттылығы

БП дәлдік класы	ФШ топологиялық элементтерінің орналасу позициялық рұқсаттылығы, мм
	0,15
	0,10
	0,07
	0,05
	0,03

КП 6.3-кесте бойынша болатын 5 жинақ дәлдігінің сәйкестігі;

6.3-кесте

Қатынас алаңы бойынша сәйкеспейтін мағыналарФШ топологиялық элементтерінің орналасу позициялық рұқсаттылығы

БП дәлдік класы	ФШ жинағының сәйкеспеушілік үлкендігі,δ, мм
	0,02...0,15
	0,15. ..0,10
	0,10...0,07
	0,075. ..0,050
	0,05...0,03

· жұмысшы ФШ-ның контуры бойынша орналасқан технологиялық аланның жалпақтығы 30 мм–ден аспауы керек; қара фонның жеткілікті оптикалық тығыздығы және топологиялық элемент көрінісінін жоғары бұрыштық қиындысы, айқындау, қолданған фотопленканың типі:

· жарық өтпейтін аумақта эмульсиондық ФШ оптикалық тығыздығы 3,0 кем болмауы және жарық өтетін аумақта 0,1 көп болмауы керек;

· жарық өтпейтін аумақта диазотипті ФШ көшіру тығыздығы 437 нм толқын ұзындығында 3,0-тен кем болмауы және жарық өтетін аумақта 0,1 көп болмауы керек;

· БП 1-3 дәлдік кластары ФШ жұмыс орнында дефекттер өлшемі (нүктелер,сырылғандар) 0,05 мм-ден аспауы және БП 4-5 дәлдік кластарында 0,02 мм-ден кем болмауы, ал 0,05...0,08 мм жалпақтықпен өткізгіш 0,01 мм аспауы керек (6.2-сурет);

ФШ жұмыс орнының дефектісі - жарық өтетін немесе жарық өтпейтін аумақта жұмыс орнында сәулелену үшін, ФШ топологиясымен қарастырылмаған (6.2-сурет)

Қолдану, сақтау және орын ауыстыру кезінде гарантиялық жұмысы болуы тиіс:

эмульсиондық ФШ — қатынас баспасына 50 операция;

диазотипные ФШ — қатынас баспасына 100 операция;

бірқалыпты жағу кезінде қорғаушы пленкасымен эмульсионды әйнекті ФШ — қатынас баспасына 300 операция;

6.2 - сурет. Жұмыс орын дефектісі. ФШ: 1 — нүкте; 2 — тесік

БП суретін дәлдікпен алу, нақтылар және ФШ БП жасағандағы дәлдігіне байланысты. Амалдардын дамыуының негізгі бағыты және оларды жасау, дәлдікті үлкейту және нақтылар мен ФШ жасаудың жұмыс көлемін азайту болып табылады.

Негізгі әдебиет:нег. 2 [91 - 96]

Қосымша әдебиет: нег. 2[110 - 113]

Бақылау сұрақтар:

1. Фотошаблондарды алудың әдістері

2. Фотошаблондарды алудың негізгі сатылары

3. Фотошаблон жұмысының дефектісі

⇐ Предыдущая 2 3 4 5 678 9 10 11 Следующая ⇒