|
|||
расчетная часть. ВыводЫ ⇐ ПредыдущаяСтр 2 из 2 расчетная часть Расчет проведен в среде Mathcad. 1 Исходные данные и величины: 2 Расчет:
Рисунок 2 – Зависимость концентрации примеси от температуры за время t Рисунок 3 – Зависимость концентрации примеси от времени при температуре Т Найдем металлургическую границу p-n перехода (глубину) Xj в кремневой структуре для различных значений температуры и времени. Глубина при различных значениях температуры: Глубина при различных значениях времени: Рассчитаем удельное поверхностное сопротивление слоя при различных значениях температуры:
Рассчитаем удельное поверхностное сопротивление слоя при различных значениях времени:
ВыводЫ Чем дольше процесс диффузии и чем выше температура, тем больше глубина Xj и меньше поверхностное сопротивление ρ. Коэффициент диффузии зависит от температуры и подвижности носителей заряда. Подвижность электронов выше, чем подвижность дырок. Чем выше температура, тем выше подвижность носителей. И чем больше время диффузии, тем больше примеси проникнет в кремниевую структуру.
|
|||
|