Напыление.. Термовакуумное напыление.

Перебалин Роман Андреевич 6466.

Напыление.

Существует несколько способов напыления:

Термовакуумное напыление, магнетронное напыление и электронно-лучевое напыление. Рассмотрим первые два.

Термовакуумное напыление.

Данный способ основан на нагреве вещества в вакууме до его активного испарения и конденсации испаренных атомов на поверхности подложки.

Для объяснения метода воспользуюсь упрощенной схемой установки:

Вещество, подлежащее напылению, помещают в устройство нагрева 1, где оно при достаточно высокой температуре интенсивно испаряется. В вакууме, который создается внутри камеры специальными насосами, молекулы испаренного вещества свободно и быстро распространяются в окружающее пространство, достигая поверхности подложки 2. Если температура подложки не превышает критического значения, происходит конденсация вещества на подложку (рост пленки). На начальном этапе испарения во избежание загрязнения пленки за счет примесей, адсорбированных поверхностью испаряемого вещества, а также для вывода испарителя на рабочую температуру используется заслонка 4, временно перекрывающая поток вещества на подложку. В зависимости от функционального назначения пленки в процессе осаждения контролируется время напыления, толщина, электрическое сопротивление или другие параметры. По достижении заданного значения параметра заслонка вновь перекрывает поток и процесс роста пленки прекращается. Нагрев подложки с помощью нагревателя 3 перед напылением способствует десорбции адсорбированных на ее поверхности атомов, а в процессе осаждения создает условия для улучшения структуры растущей пленки.

Достоинства:

· Высокая чистота осаждаемого материала, универсальность и относительная простота реализации.

Минусы:

· Нерегулируемая скорость осаждения, низкая, непостоянная и нерегулируемая энергия осаждаемых частиц.

12 Следующая ⇒