ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СВОЙСТВ СЕНСОРОВ

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ

ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ (НИ ТГУ)

Радиофизический факультет

Кафедра полупроводниковой электроники

ОТЧЁТ ПО УЧЕБНОЙ ПРАКТИКЕ

ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СВОЙСТВ СЕНСОРОВ

НА ОСНОВЕ ТОНКИХ ПЛЁНОК Ga₂O₃

С РАЗЛИЧНЫМ СОДЕРЖАНИЕМ ХРОМА

по основной образовательной программе подготовки бакалавров

Направление подготовки 03.03.03 – Радиофизика

Чупрякова Екатерина Викторовна

Руководитель практики

кандидат физ.-мат. наук,

____________А.В. Алмаев

«_____» мая 2020 г.

Автор работы

студент группы № 773

_____________Е.В. Чупрякова

Томск-2020