Центр технологий и микрофабрикации

Центр технологий и микрофабрикации

Лаборатория прикладных биомедицинских микросистем

ФГБУ ФНКЦ ФХМ ФМБА России

В результате реализации ФЦП «Фарма-2020» на базе ФГБУ «Федеральный научно-клинический центр физико-химической медицины ФМБА России» в 2020 году был построен и оснащен современным высокотехнологичным оборудованием и передовыми инженерными системами корпус Центра технологий и микрофабрикации (ЦТМ). На базе ЦТМ организована лаборатория прикладных биомедицинских микросистем.

На базе ЦТМ и лаборатории реализуются разработка новых методов диагностики на основе микрофлюидных и нанотехнологий, фотоники и плазмоники, разработка и мелкосерийный выпуск микроэлектромеханических систем (МЭМС) для медицинской диагностики и научных приложений, а также разработка и выпуск приборов медицинского назначения.

Были развернуты следующие технологические процессы и циклы для пластин стандарта 100 мм:

· полный цикл оптической фотолитографии в условиях чистых помещений класса ISO5, включая создание фотошаблонов;

· работа с фоторезистами с автоматическим нанесением и отмывкой;

· нанесение тонких пленок методами магнетронного и термического напыления (Au, Pt, Ni, Cr, Ta2O5, SiO2);

· плазмахимическое и жидкостное травления материалов (кремний, стекло, кварц);

· лазерная абляция материалов, включая фемтосекундые и пикосекундные методики (кремний, стекло, полимеры);

· механообработка металлов и пластиков, включая ЧПУ, для прототипирования и мелкосерийного выпуска аналитических приборов.

У научной группы Центра технологий и микрофабрикации ФНКЦ ФХМ ФМБА имеется многолетний опыт исследований и разработок в областях:

- плазмоника и наноплазмоника;

- (био) сенсоры на поверхностных оптических волнах в фотонных кристаллах;

- оптические газовые сенсоры;

- фотонные наноструктуры (наночастицы, фотонные кристаллы, квантовые точки) и их использование в биомедицине;

- сопряжение фотоники\плазмоники с микрофлюидными технологиями;

- разработка оптических анализаторов и диагностических комплексов для in vitro диагностики

г. Одинцово, Красногорское шоссе 15

территория КБ 123

E-mail: dmitry.basmanov@rcpcm.org