Домашнее задание по теме Термическое вакуумное напыление

Домашнее задание по теме "Термическое вакуумное напыление"

Рассчитать зависимость толщины напыляемой пленки d от расстояния от центра подложки L для испарителя малой площади и для точечного испарителя и отношение толщины пленки в центре подложки d₀ к толщине пленки d на удалении L от центра в соответствии с данными по индивидуальному заданию, сравнить и сделать выводы.

№	Фамилия	I	II	III	IV	Примечание
		Cu	0,25
		Cu	0,5
		Cu	1,0
		Cu	1,25
		Cu	1,5
		Cu	1,75
		Cu	2,0
		Al	0,25
		Al	0,5
		Al	1,0
		Al	1,25
		Al	1,5
		Al	1,75
		Al	2,0
		Ni	0,25
		Ni	0,5
		Ni	1,0
		Ni	1,25
		Ni	1,5
		Ni	1,75
		Ni	2,0
		Cr	0,25
		Cr	0,5
		Cr	1,0
		Cr	1,25
		Cr	1,5
		Cr	1,75
		Cr	2,0

I - Распыляемый материал

II – Масса распыляемого материала - г

III – Диаметр подложки - мм

IV – Расстояние испаритель – подложка - мм