Хелпикс

Главная

Контакты

Случайная статья



Домашнее задание по теме Газовый разряд в современной микро- и нанотехнологии.



Домашнее задание по теме "Газовый разряд в современной микро- и нанотехнологии."

1. Материал к самостоятельному изучению

1. В качестве домашнего задания к шестому занятию (Термическое вакуумное напыление) самостоятельно изучаются разделы учебника В.И. Марголин, В.А. Жабрев, В.А. Тупик Физические основы микроэлектроники: Учебник для студ. высш. учеб. заведений.- М.: Издательский центр "Академия, 2008.- 400 с."

Глава 4, раздел 4.2

2. Самостоятельно изучить предложенный преподавателем файл

3. Рассчитать при какой температуре возможна спонтанная ионизация нейтрального атома. Е1 – первый потенциал ионизации, Е2 – второй потенциал ионизации, Е3 – третий потенциал ионизации.

Рассчитать, какой температуре соответствует энергия сродства к электрону ЕА.

Рассчитать, какую энергию теряет электрон с энергией Е0, столкнувшись с атомом М.

№ Фамилия I II Атом ЕА Е0 эВ М
  H Е1 H 0.75 O
  H2 Е1 He 0.08 O
  N Е1 Li 0.82 O
  N2 Е1 B 0.3 N
  Cs Е1 C 1.2 N
  He Е1 N 0.7 N
  Ne Е1 O 1.5 Ar
  Ar Е1 F 3.6 Ar
  Kr Е1 Na 1.2 Ar
  Xe Е1 Cl 3.8 Kr
  Hg Е1 K 0.7 Kr
  N Е2 Fe 0.5 Kr
  N Е3 Ni 1.3 Xe
  Cs Е2 Cu 2.4 Xe
  Cs Е3 Mo 1.3 Xe
  He Е2 Cs 0.23 Cu
  Ne Е2 Ta 0.2 Cu
  Ne Е3 Pt 2.6 Cu
  Ar Е2 Au 2.8 Ni
  Ar Е3 H2 0.72 Ni
  Kr Е2 O2 0.9 Ni
  Kr Е3 H2O 0.9 Au
  Xe Е2 CH 1.6 Au
  Xe Е3 CH2 0.95 Au
  Hg Е2 C2H4 1.8 Ta
  Hg Е3 C2H5 1.4 Ta
  Cs Е2 Br2 2.6 Ta
  He Е2 Cl2 1.7 Ta

 

 

Энергия эВ H H2 N N2 Cs He Ar Ne Kr Xe Hg
Е1 13,6 15,6 14,5 15,5 3,9 24,6 15,8 21,6 14,0 12,1 10,4
Е2     29,6   25,1 54,4 27,6 41,0 24,6 21,2 18,8
Е3     47,4   34,6   40,9 63,5 37,0 32,1 34,2

 

 

I - Материал

II – Потенциал ионизации

III – Диаметр подложки - мм

IV – Расстояние испаритель – подложка - мм

 

 
  

© helpiks.su При использовании или копировании материалов прямая ссылка на сайт обязательна.