Послідовність формування та схема технологічного
2.1 Послідовність формування та схема технологічного
процесу дифузійно - планарних ІМС
Схема технологічного процесу виготовлення
дифузійно-планарної мікросхеми подана нижче.
'-
| | | | | | | | | | | | 3-я фото-літографія на
| | | Базова дифузія р- домішок
(3-и валентний бор, галій)
| | | | | |
2.2 Послідовність формування та схема технологічного
процесу епітаксійно- планарних ІМС
p
Схема технологічного процесу епітаксіально - планарних
мікросхем із захованим n+ шаром має такий вигляд:
|