Хелпикс

Главная

Контакты

Случайная статья





Послідовність формування та схема технологічного



2.1   Послідовність формування та схема технологічного

                   процесу дифузійно - планарних ІМС

 

 

                                                                                    

 

                                               

     
 

 


                                             

 

 

 

 

 

 


               

 

 

Схема технологічного процесу виготовлення

дифузійно-планарної мікросхеми подана нижче.

 


 

                                                                              '-

 

             
3-я фото-літографія на
Базова дифузія р- домішок (3-и валентний бор, галій)  
 
  Окислення

 


                                                                                                                   

 

 

 


                                                                                                                       

 


2.2 Послідовність формування та схема технологічного

    процесу епітаксійно- планарних ІМС

 

 

                 p

                                         

     

               

                                                                                                                                                  

 

 

 


 

                                                                                                                   

         
 

 

 


  

 

 

     

 

     
 


   

 

 

 

 

 


Схема технологічного процесу епітаксіально - планарних

мікросхем із захованим n+ шаром має такий вигляд:

 

 

 


 

 

 

 



  

© helpiks.su При использовании или копировании материалов прямая ссылка на сайт обязательна.